全自动半导体芯片条清洗干燥设备
设备可适用于可蒸发冷凝回收型清洗剂
设有冷冻保护装置,有效防止液体的挥发。
设有蒸馏回收系统,保证液体能够得到重复利用,降低成本
采用多单臂机械手结构,横移采用伺服电机更加稳定。
PLC全程序控制及触摸屏人机界面。可多套程序控制,满足不同产品的清洗工艺。