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全自动半导体陶瓷覆铜基板湿法氧化线
全自动半导体陶瓷覆铜基板最终清洗线
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全自动半导体靶材类清洗干燥设备
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多槽式手动清洗设备
多槽式手动清洗设备
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全自动半导体靶材类清洗干燥设备
•采用龙门单臂机械手结构，载重大于200KG
•采用伺服电机定位更加稳定。
•PLC全程序控制及触摸屏人机界面。可多套程序控制，满足不同产品的清洗工艺。